加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机专利技术
发布日期:2017-03-21 浏览次数:3775 次 来源:本站原创 作者:佚名
一种加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机,由真空室(镀膜室)和抽气系统构成。真空室(镀膜室)包括室体、室门、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源、与蒸发源两电极连接的电源、位于室体内并与转动机构连接的工作架、室体内对称地设置的两个射频(RF)靶,射频靶通过与其配套的安装在室体壁上的用于冷却的出水管和进水管固定,出水管兼作射频靶的电极,与射频电源连接。此种镀膜机既能对汽车、摩托车灯具镀铝膜,又能对汽车、摩托车灯具镀等离子体聚合保护膜,有利于简化覆膜工艺,使生产规模化,稳定产品质量,所镀保护膜的产品具有防酸碱、防盐雾、防潮的性能。