真空排气台用途:用于电真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、速调管、真空排气封离等。
工作原理及特点:
本设备可对真空器件进行加热、除气、排气、阴极分解、封离等工作。将真空器件的排气口与高真空系统的抽气口用CF法兰付压紧,再将外真空及烘箱放下,就可开始工作。将内、外真空抽至工艺规定的指标后,可加热,并开启高真空烘烤带,可使器件内管壁气体分子及高真空管道内壁上气体分子脱附,并通过高真空系统将其抽走。经过一定时间后,使器件内真空达到工艺所需的真空度要求,就可进行阴极分极。再将外真空系统关闭,并放气,打开外真空及烘箱。然后可对器件封离。
设备结构:
立式、单头、多头(可根据用户的有效容积,最高温度、极限真空度、排气头的要求进行专门的设计制造)。
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极限真空度:4×10-6或6.7×10-8Pa;
最高炉温:600℃;